NTB


NTB(Near Tool Buffer)是一种在半导体制造自动化生产线中用于近距离存储晶圆、面板或其他敏感物料的设备。它通常被安装在生产线附近,以便快速、准确地为生产设备提供所需物料,并接收生产完成后的物料。

所属分类:

软件系统

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概述


功能

物料缓存:在生产线上的设备之间提供物料缓存功能,减少等待时间,提高生产效率。

物料管理:通过自动化控制系统实现物料的自动存取、跟踪和管理,降低人为错误。

洁净环境:维持一定的洁净度等级,以保护敏感物料免受污染。

结构与组成

存储单元:由多个存储位置组成,每个位置可存放一个或多个晶圆料盒、面板载板等。

自动化传输机构:如堆垛机(Crane)或其他自动化搬运设备,负责在NTB与生产设备之间传输物料。

控制系统:通过PLC(可编程逻辑控制器)或工业计算机等控制系统实现自动化控制和智能化管理。

应用场景

在半导体制造过程中,NTB被广泛应用于晶圆加工、测试、封装等各个环节。

在面板制造领域,NTB同样扮演着重要角色,为生产线提供稳定的物料供应。

注意事项

NTB的设计、制造和安装需符合半导体或面板制造行业的洁净室设计规范。

在使用过程中,需定期维护和保养NTB及其相关设备,以确保其正常运行和延长使用寿命。

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