晶圆 stocker
盈科视控晶圆Stocker主要用于洁净室内半导体生产工序及工序之间晶圆盒的存储,根据无尘室可利用空间,灵活定制各类型STK,实现空间最大化
所属分类:
软件系统
相关文件:
关键词:
其它解决方案
盈科视控AMHS方案以自研MCS系统为核心,调度管理Stocker、AGV、NTB、投收板机、提升机等硬件设备,搭配仿真平台、数字孪生实现智能运维,同时提供AI+助力分析决策,形成一套完整可靠的智能工厂方案
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